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Tables de déplacement XY Planar Motion Systems PMS 100

Tables de déplacement XY Planar Motion Systems PMS 100

Mardi 26 mai 2015

Les tables de déplacement plan sont constituées d'un plateau sur coussin d'air mû au moyen de 3 ou 4 champs magnétiques contrôlés par DSP. Elles permettent des déplacements aussi bien très lents (1 µm/sec) que très rapides (500 mm/sec) avec une précision de 0,2 µm à 1 µm sur tout le parcours de déplacement choisi. La trajectoire de la table est facilement programmable par G-code. Les applications concernent entre autres les études de paires de matériaux, les traitements et inspections de surface (wafer, micro-assemblage), les systèmes de balayage optique ou mécanique, les systèmes de découpe laser et de gravure nécessitant une très grande précision. Pour parfaire le tableau, elles sont silencieuses et adaptées aux salles blanches.

 Electromagnetic Planar Motion System PM100-3  (PDF 275Ko)
 Description of PMS100 3  (PDF 1150Ko)

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